Produktintroduktion
Materielle egenskaber
Parameter | Karakteristisk | ASTM -kontrolmetode |
Type/dopingmiddel | P, bor N, fosfor N, antimon N, arsen | F42 |
Orienteringer | <100>, <111>Skær orienteringer pr. Kundens specifikationer | F26 |
Oxygenindhold | 1019 PPMA brugerdefinerede tolerancer pr. Kundens specifikation | F121 |
Kulstofindhold | < 0.6 ppmA | F123 |
Resistivitet Ranges- P, Boronn, Phosphorous-N, Antimon-N, Arsenic | 0.001 - 50 ohm cm | F84 |
Mekaniske egenskaber
Parameter | Primtal | Monitor/ test a | Prøve | ASTM -metode |
Diameter | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm | F613 |
Tykkelse | 725 ± 20 um (standard) | 725 ± 25 um (standard) 450 ± 25 um 625 ± 25 um 1000 ± 25 um 1300 ± 25 um 1500 ± 25 um | 725 ± 50 um (standard) | F533 |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm | F657 |
Sløjfe | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Svøbe | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Kant afrunding | Semi-std | F928 | ||
Markering | Kun primær semi-flad, semi-std lejligheder Jeida flad, hak | F26, F671 | ||
Overfladekvalitet
Parameter | Primtal | Monitor/ test a | Prøve | ASTM -metode |
Kriterier for forside | ||||
Overfladetilstand | Kemisk mekanisk poleret | Kemisk mekanisk poleret | Kemisk mekanisk poleret | F523 |
Overflades ruhed | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° | |
Contamination,Particles @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Dis, grober, appelsinskal | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Så mærker, striationer | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Kriterier på bagsiden | ||||
Revner, krowsfeet, så mærker, pletter | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Overfladetilstand | Kaustisk ætset | F523 | ||
Produktbeskrivelse
Perfekt til mikrofluidikapplikationer . til mikroelektronik eller MEMS -applikationer, kontakt os for detaljerede specifikationer .
Microelectronics 'produktlinje inkluderer både enkelt sidepoleret (SSP) og dobbelt sidepoleret (DSP) wafer -underlag . dobbelt sidepolerede skiver typisk påkrævet i halvleder, mems, og andre anvendelser, hvor skiver med tæt kontrollerede fladhedsegenskaber er påkrævet {{{1} er det også nødvendigt
Stort lager af dobbeltsidepolerede skiver i alle skivediametre, der spænder fra 100 mm til 300 mm . Hvis din specifikation ikke er tilgængelig i vores lager, har vi etableret langtidsrelationer med adskillige leverandører, der er i stand til brugerdefinerede fremstillingsskiver til at passe til unikke specifikationer . dobbelt sidepoliserede Wafers er tilgængelige i silicon, glas og materiale industri .
Tilpasset terning og polering er også tilgængelig i henhold til dine krav . er du velkommen til at kontakte os .
Produktfunktioner
· 8 "P/N Type, poleret siliciumskive (25 stk)
· Orientering: 200
· Resistivitet: 0.1 - 40 ohm • cm (det kan variere fra batch til batch)
· Tykkelse: 725+/-20 um
· Prime/Monitor/Test Grade
Populære tags: 8 tommer (200 mm) Wafer, Kina, leverandører, producenter, fabrik, lavet i Kina
