【Product introduction】
MATERIALEEGENSKABER
Parameter | Karakteristisk | ASTM kontrol metode |
Type/Dopant | Pedersen, Boron N, fosfor Nielsen, antimon Nielsen, arsen | F42 |
Retningslinjer | <100>,<111>skær off retningslinjer pr. kundens specifikationer | F26 |
Iltindhold | 1018ppmA Custom tolerancer pr. kundens specifikation | F121 |
CO2 indhold | < 0.5="" ppma="" custom="" tolerances="" per="" customer's="" =""> | F123 |
Resistivitet intervaller-P, arsen, antimon - N, Boron - N, fosfor - N | 0,001 - 50 ohm·cm | F84 |
MEKANISKE EGENSKABER
Parameter | Prime | Skærm / Test A | Test | ASTM-metode |
Diameter | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Tykkelse | 525 ± 20 µm (standard) | 525 ± 25 µm (standard) 381 ± 25 µm 625 ± 25 µm 700 ± 25 µm 800 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 525 ± 50 µm (standard) | F533 |
TTV | < 5=""> | < 10=""> | < 15=""> | F657 |
Bue | < 30=""> | < 30=""> | < 40=""> | F657 |
Wrap | < 30=""> | < 30=""> | < 40=""> | F657 |
Kant afrunding | SEMI-STD | F928 | ||
Mærkning | SEMI-STD Flats, primære semi-flad kun | F26, F671 | ||
OVERFLADEKVALITET
Parameter | Prime | Skærm / Test A | Test | ASTM-metode |
Forsiden kriterier | ||||
Overfladetilstand | Kemiske mekanisk poleret | Kemiske mekanisk poleret | Kemiske mekanisk poleret | F523 |
Overfladeruhed | < 2=""> | < 2=""> | < 2=""> | |
Forurening, partikler @ > 0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, gruber, appelsinskal | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Så mærker, riller | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Bagsiden kriterier | ||||
Revner, crowsfeet, så mærker, pletter | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Overfladetilstand | Kaustisk ætset | F523 | ||
【.Produktbeskrivelse】
Mikroelektronik produktsortiment omfatter både enkelt side poleret (SSP) og dobbelt side poleret (DSP) wafer substrater. Dobbelt side poleret vafler er typisk kræves i halvleder, MEMS, og andre applikationer, hvor vafler med stramt kontrolleret fladhed karakteristika er påkrævet.
Vi tilbyder også rektangulære og kvadratiske wafer stykker. Dybest set er realiserbare række kant længder for silicium wafers 5 x 5 mm2... 100 x 120 mm2 osv. Udgifterne / wafer stykke afhænger på materialet og på antallet af wafer stykker kræves.
Tilpassede terninger og polering er også avaible henhold til dine krav. Du er velkommen til at kontakte os.
【.Produktfunktioner】
· 4" P/N type, poleret silicium wafer (25 stk)
· Orientering: 100
· Resistivitet: 0,1 - 40 Ohm·cm (det kan variere fra batch til batch)
· Tykkelse: 525 +/-20um
· Skærm-Prime-Test lønklasse
Populære tags: 4 tommer (100mm) wafer, Kina, leverandører, fabrikanter, fabrik, fremstillet i Kina
