Kilde: mtiinstruments
ASTM F657:
Afstanden gennem en skive mellem tilsvarende punkter på for- og bagfladen. Tykkelse udtrykkes i mikron eller mils (tusindedele af en tomme).
Variation af total tykkelse (TTV)
ASTM F657:
Forskellen mellem de maksimale og mindste værdier for tykkelse, der opstår under et scanningsmønster eller række af punktmålinger. TTV udtrykkes i mikron eller mils (tusindedele af en tomme).
Figuren ovenfor viser en skive placeret mellem to måleprober uden berøring. Ved at overvåge ændringer mellem den øvre sondeoverflade og den øverste skiveoverflade (A) og den nederste sondeoverflade og den nederste skiveoverflade (B), kan tykkelsen beregnes. Først skal systemet kalibreres med en skive med kendt tykkelse (T w ). Området med kendt tykkelse anbringes mellem sonderne og en øvre sonde til skiveafstand (A), og en lavere sond til skiveafstand (B) erhverves. Den samlede afstand (Gtotal) mellem de øvre og nedre sonder beregnes derefter som følger:
G totalt = A + B + T w
Med systemet kalibreret kan nu skiver med ukendt tykkelse måles. Når skiven placeres mellem sonderne, erhverves en ny værdi af A og B. Tykkelse beregnes som følger:
T w = G totalt - (A + B)
Under en automatisk scanning af waferen udtages og gemmes en række punktmålinger. Efter afslutningen af scanningen beregnes TTV som følger:
TTV = T max - T min
IKKE KONTAKT BÅ MÅLING
ASTM F534 3.1.2:
Afvigelsen af midtpunktet af medianoverfladen på en fri, ikke-klemt skive fra medianoverfladenes referenceplan, der er etableret med tre punkter, der er ligeligt fordelt på en cirkel med en diameter med en specificeret mængde mindre end skivens nominelle diameter.
Median overflade:
Lokaliteten af punkter i skiven ensartet mellem for- og bagflader. Når du måler og beregner bue, er det vigtigt at bemærke, at plades medianoverfladen skal være kendt. Ved at måle afvigelser af medianoverfladen fjernes lokaliserede tykkelsesvariationer ved midten af skiven fra beregningen.
Ovenfor viser forholdet mellem wafer-medianoverfladen mellem de to sondeoverflader, hvor:
D = Afstand mellem øverste og nedre sonde
A = Afstand fra øverste sonde til øverste skiveoverflade
B = Afstand fra nedre sonde til bundpladeoverflade
Z = Afstand mellem skivemedianoverfladen og punktet halvvejs mellem øvre og nedre sonde (D / 2)
For at bestemme værdien af Z på ethvert sted på skiven er der to ligninger:
Z = D / 2 - A - T / 2 og Z = -D / 2 + B + T / 2
Ved at løse begge ligninger for Z kan værdien bestemmes ganske enkelt ved:
Z = (B - A) / 2
Da bue kun måles ved skivens midtpunkt, beregnes et tre (3) -punkts referenceplan omkring kanten af skiven. Værdien af bue beregnes derefter ved at måle placeringen af medianoverfladen i midten af skiven og bestemme dens afstand fra referenceplanet. Bemærk, at bue kan være et positivt eller negativt tal. Positivt angiver midtpunktet for medianoverfladen er over det trepunkts referenceplan. Negativt angiver midtpunktet for medianoverfladen er under det trepunkts referenceplan.
MÅLING AF WARP FOR SOLAR INDUSTRI
ASTM F1390:
Forskellene mellem den maksimale og minimale afstand af medianoverfladen på en fri, ikke-klemt skive fra et referencested. Ligesom bue er varp en måling af differentieringen mellem medianoverfladen på en skive og et referenceplan. Warp bruger imidlertid hele medianoverfladen på skiven i stedet for bare positionen i midtpunktet. Ved at se på hele skiven giver warp en mere nyttig måling af ægte skiveform. Placeringen af medianoverfladen beregnes nøjagtigt som for bøjningen og vist ovenfor. Til bestemmelse af varp er der to valg til konstruktion af referenceplanet. Det ene er det samme trepunktsplan omkring kanten af skiven. Den anden er ved at udføre en mindstekvadertilpasningsberegning af median overfladedata erhvervet under målescanningen. Warp beregnes derefter ved at finde den maksimale afvigelse fra referenceplanet (RPD max ) og den minimale differentiering fra referenceplanet (RPD min ). RPD max er defineret som den største afstand over referenceplanet og er et positivt tal. RPD min er den største afstand under referenceplanet og er et negativt tal.
Figuren ovenfor er en illustration af varpberegningen. I dette eksempel er RPDmax 1,5 og vises som den maksimale afstand af medianoverfladen over referenceplanet. RPDmin er - 1,5 og vises som den maksimale afstand af medianoverfladen under referenceplanet. Bemærk varp er altid en positiv værdi.
Warp = 1,5 - (-1,5) = 3
Det illustrerer også nytten af at tage både bue- og warp-aflæsninger. Medianoverfladen på den viste skive skærer referenceplanet i skivecentret, derfor ville bøjemåling være nul. Den beregnede varpværdi er mere nyttig i dette tilfælde, da den fortæller brugeren, at skiven ikke har formuegelmæssigheder.