210mmx210mm M12 monokrystallinsk silicium sol wafer med diameter på 295mm er 80,5% større end M2 wafer.
1 Materialeegenskaber
egenskab | specifikation | Inspektionsmetode |
Vækstmetode | Cz | |
Krystallinitet | Monokrystallinsk
| Præference etch teknikker（ASTM F47-88） |
Ledningsevne type | P-type | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant
| Bor, Gallium
| - |
Iltkoncentration[Oi] | ≦8E+17 ved/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Kulstofkoncentration[Cs] | ≦5E+16 ved/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Tæthed af ætsende gruber (dislokationstæthed) | ≦500 cm-3 | Præference etch teknikker（ASTM F47-88） |
Overfladeretning | <100>±3° | X-ray Diffraktion Metode (ASTM F26-1987) |
Orientering af pseudo kvadratiske sider | <010>,<001>±3° | X-ray Diffraktion Metode (ASTM F26-1987) |
2 Elektriske egenskaber
egenskab | specifikation | Inspektionsmetode |
resistivitet | 0,5-1,5 Ωcm | Wafer inspektionssystem |
MCLT (levetid for minoritetsbærere) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (med injektionsniveau: 1E15 centimeter-3) |
3 geometri
egenskab | specifikation | Inspektionsmetode |
geometri | Fuld firkant | |
Wafer-sidelængde | 182±0,25 mm | wafer inspektionssystem |
Wafer Diameter | φ247±0,25 mm | wafer inspektionssystem |
Vinkel mellem tilstødende sider | 90° ± 0,2° | wafer inspektionssystem |
tykkelse | 180﹢20/﹣10 μm; 170﹢20/﹣10 μm | wafer inspektionssystem |
TTV (Variation i samlet tykkelse) | ≤27 μm | wafer inspektionssystem |
4 Egenskaber for overflade
egenskab | specifikation | Inspektionsmetode |
Skæringsmetode | Dw | -- |
Overfladekvalitet | som skåret og rengjort, ingen synlig forurening, (olie eller fedt, fingeraftryk, sæbe pletter, gylle pletter, epoxy / lim pletter er ikke tilladt) | wafer inspektionssystem |
Savmærker/trin | ≤ 15μm | wafer inspektionssystem |
bue | ≤ 40 μm | wafer inspektionssystem |
Warp | ≤ 40 μm | wafer inspektionssystem |
jeton | dybde ≤0,3 mm og ≤ 0,5 mm Maks. ingen V-chip | Inspektionssystem med blotte øjne eller wafer |
Mikro revner / huller | Ikke tilladt | wafer inspektionssystem |
Populære tags: p type m10 monokrystallinsk sol wafer, Kina, leverandører, producenter, fabrik, fremstillet i Kina
